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热电材料与ALD项目简介
热电材料与ALD项目简介

热电材料项目简介

热电材料是一种能将热能和电能相互转换的功能材料,是热电转换技术的核心。它的应用很神奇,通入电流之后会产生冷热两端,故可以用来冷却也可以用来保温;如果同时在热电材料两端接触不同温度时,则会在内部回路形成电流,温差越大产生的电流越强,这就是所谓的温差发电。

热电转换技术大规模应用的关键问题是转换效率低。本项目通过纳米化工艺实现具有设定厚度的系列超晶格厚膜热电材料,具有体积小、重量轻、转换效率高、可靠性高、不排放污染物质;而且适用温度范围广(余热,废热,温差发电),温度控制可在±0.1℃之内,使用寿命长,是热电材料和热电器件商业化的有效途径;尤其适用于无人区信号发射装置、深空探测器和航天飞行器。

人才团队

张洪国博士,李涛博士,张凯博士,邹毅博士,杨长伟先生,黄惠女士

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专利技术

1)高温量子阱超晶格厚膜热电材料及其生产方法(已申请)

2)中温量子阱超晶格厚膜热电材料及其生产方法(已申请)

3)量子阱超晶格厚膜热电材料及其生产方法(已申请)

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ALD原子层沉积项目简介

原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)是薄膜沉积的顶尖技术。作为表面控制的,自我限制的化学气相处理方法,ALD可以确保薄膜生长100%的均匀性、保形性、无缺陷,即使是最具挑战性的结构,如:纳米叠层、薄膜掺杂、超高深宽比纳米孔或不规则结构的微电子产品制造等。可靠、有效、简洁、易操作的ALD设备已经成为世界上顶级工业和科研机构制备各种微米/纳米薄膜与器件必不可少的工具。

项目的技术核心张凯博士一直从事原子层沉积(ALD)系统的研发与应用,是世界上经验最丰富的ALD设计师之一,所组织的团队掌握世界领先的薄膜制备技术与应用。因为了解客户的需求,所以能够满足大多数客户对生产率和可靠性的苛刻要求;对于大学或科研机构,所开发的ALD设备具有无与伦比的多功能性、灵活性、模块化,并可以根据客户的需求,进一步升级或扩展为生产型设备,弥补研发和实际生产领域的空白。

人才团队

张凯博士(美国),张洪国博士,左如忠教授,杨旭研究员,栾志坚先生,黄惠女士

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