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原子层沉积设备6个应用领域

原子层沉积设备6个应用领域

    1 微电子:逻辑器件、碳纳米管、存储器件/材料、阻挡层

    2 光学:光子晶体、表面等离激元、光学微腔、导电氧化物、其他光学器件

    3 能源:锂电池、燃料电池、太阳能电池、超级电容器、表面钝化和敏化

    4 催化:氧化物催化剂、负载型金属催化剂、颗粒和高深宽比结构

    5 生物:生物薄膜和仿生、生物相容性涂层、生物检测电子器件、生物传感器

    6 纳米技术:微纳机电系统、纳流体器件、磁隧道结器件、单分子传感器

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